반도체 부품 세정 : 시장 점유율과 순위, 전체 판매량 및 수요 예측(2025-2031년)
Semiconductor Parts Cleaning - Global Market Share and Ranking, Overall Sales and Demand Forecast 2025-2031
상품코드 : 1862407
리서치사 : QYResearch
발행일 : 2025년 10월
페이지 정보 : 영문
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한글목차

반도체 부품 세정 시장 규모는 2024년에 9억 7,000만 달러로 평가되었고, 2025-2031년의 예측 기간에 CAGR 6.3%로 성장하여 2031년까지 14억 9,500만 달러에 달할 것으로 예측됩니다.

반도체 챔버 부품 세정은 다른 모든 반도체 공정 투입물(가스, 화학물질, 실리콘 등)을 논의할 때 핵심이 되는 '초청정 혁명'에 뒤쳐져 왔습니다. 다른 반도체 공정 투입물에는 모두 분석증명서(COA)가 발급되지만, 신규 부품도 예외는 아닙니다. 그러나 재생 챔버 부품의 청결도는 입자 수준이나 원자 수준의 오염에서 큰 편차를 보이고 있습니다. 이는 부분적으로 표준 방식에서 부품의 최종 세척을 위해 해당 장비 자체를 사용했기 때문입니다. 청정도 목표 달성을 확인하기 위해서는 수많은 테스트 웨이퍼, 고가의 웨이퍼 측정 기술, 그리고 생산 시간 낭비가 수반되었습니다. 세정은 고객의 공정 중에 발생한 장비 부품의 입자나 이온성 불순물 등의 오염물질을 제거하는 공정입니다.

본 보고서는 반도체 챔버 부품용 정밀 세정 서비스에 대해 조사한 보고서입니다. 대상은 ALD, CVD, PVD, 에칭, 확산, 이온 주입, 리소그래피, 석영 부품 등 팹 및 OEM을 위한 중고 부품 및 신규 부품을 포함합니다.

북미 반도체 장비 부품 세정 시장은 2024년 1억 486만 달러에서 2031년까지 1억 5,527만 달러에 달할 것으로 예상되며, 2025-2031년 예측 기간 동안 연평균 5.66%의 연평균 복합 성장률(CAGR)을 보일 것으로 예측됩니다.

중국 본토의 반도체 제조 장비 부품 세정 시장은 2024년 2억 2,543만 달러에서 2031년 3억 9,789만 달러에 달했으며, 2025-2031년 7.92%의 연평균 복합 성장률(CAGR)을 보일 것으로 예측됩니다.

한국의 반도체 장비 부품 세정 시장은 2024년 2억 539만 달러에서 2031년까지 3억 1,137만 달러에 달할 것으로 예상되며, 2025-2031년 예측 기간 동안 연평균 6.14%의 연평균 복합 성장률(CAGR)을 보일 것으로 예측됩니다.

대만의 반도체 제조 장비 부품 세정 시장은 2024년 2억 5,416만 달러에서 2031년 3억 7,278만 달러에 달할 것으로 예상되며, 2025-2031년 연평균 5.89%의 연평균 복합 성장률(CAGR)을 보일 것으로 예측됩니다.

현재 300mm 장비 부품이 가장 큰 용도를 차지하고 있으며, 2024년에는 약 65.6%의 점유율을 가지고 있습니다. 200mm 시장은 자동차용 칩, MEMS, 센서, 파워 반도체 소자 수요가 주도하고 있습니다. 150mm 시장은 주로 실리콘 카바이드(SiC) 장치 수요에 의해 주도되고 있습니다. 최근 몇 년 동안 반도체 재생 장비 수요도 정밀 세정의 성장을 주도하고 있으며, 특히 중국 시장에서 두드러지게 나타나고 있습니다.

현재 에칭이 가장 큰 용도이며, 약 41.7%의 점유율을 차지하고 있습니다. 그 다음 박막(CVD/PVD), 확산이 이어집니다.

청소 서비스 주요 기업은 주로 미국, 독일, 일본, 한국, 대만, 싱가포르, 중국 본토에 기반을 두고 있습니다. 세계 상위 5개사의 점유율은 약 44.4%, 주요 10개사의 점유율은 약 72%를 차지하고 있습니다.

현재 미국 내 주요 기업은 UCT (Ultra Clean Holdings, Inc), Pentagon Technologies, Enpro Industries, Mitsubishi Chemical (Cleanpart), Persys Group, MSR-FSR LLC and KoMiCo (USA division) 등입니다.

국내에서는 KoMiCo, Cinos, Hansol IONES, WONIK QnC, DFtech 등이 주요 기업입니다.

중국 대만에서는 주요 업체로 Shih Her Technology, Frontken (Ares Green Technology Corporation), UCT (Tainan Quantum Technologies), Enpro Industries (LeanTeq), KERTZ HIGH TECH, Hung Jie Technology Corporation, Mitsubishi Chemical Taiwan, HTCSolar and KoMiCo 등이 있습니다. 중국 대만의 IC 제조는 고성능 컴퓨팅(HPC), 스마트폰, 사물인터넷(IoT), 자동차, 디지털 가전 등 수요에 힘입어 성장하고 있습니다. 특히 AI, 데이터센터, 서버, 5G 스마트폰, 자동차용 HPC 칩에 대한 수요가 증가하고 있습니다. 대만에서 가장 큰 세정 서비스 고객은 TSMC이며, TSMC의 데이터에 따르면 2024년 TSMC의 첨단 공정(16nm-3nm) 매출이 전체 매출의 80%를 차지할 것으로 예상되며, 2025년에는 84% 이상에 달할 것으로 예측됩니다.

중국 본토 시장의 주요 업체는 OCALO (China division, Kunshan), KoMiCo (China division, KoMiCo Technology (Wuxi) Limited.), Cinos (China division, Xi'an), WONIK QnC (China division, Xi'an), DFtech (China division, Wuxi), Hung Jie Technology Corporation (China division, Nanjing HungJie Semicondutor technology), Ferrotec (Anhui) Technology Development Co., Ltd, Chongqing Genori Technology Co., Ltd and Beijing GRAND HITEK 등이 있습니다. 앞으로 더 많은 중국 신규 진출기업들이 이 시장에 진입할 것으로 예측됩니다.

반도체 장비 부품 세정 서비스는 소자 미세화가 5nm 이하로 진행되면서 전 공정 장비가 미량 오염물질에 점점 더 민감해짐에 따라 미션 크리티컬한 지원 분야로 진화하고 있습니다. 전 세계적으로 업계에서는 다음과 같은 변화가 일어나고 있습니다.

아웃소싱 확대: 주요 IDM 및 파운드리 업체들은 CVD/ALD 리액터 부품, 에칭 실드, 정전기 척, 가스 공급 모듈 세정을 공인된 서비스 제공업체에 아웃소싱하는 추세가 증가하고 있습니다.

현지화 동향 : 중국 및 동남아시아에서는 신규 팹 건설을 지원하고 수입 의존도를 낮추기 위해 현지 세정센터 설립이 진행되고 있습니다.

팹 수요의 다양화: 첨단 패키징(2.5D/3D), 파워 반도체, 화합물 반도체(SiC, GaN)의 성장에 따라 특수 세정을 필요로 하는 부품의 유형과 복잡성이 확대되고 있습니다.

이 보고서는 반도체 부품 세정 세계 시장에 대해 총 매출액, 주요 기업의 시장 점유율 및 순위를 중심으로 지역 및 국가별, 장비 크기별, 장비 유형별 분석을 종합적으로 제시하는 것을 목적으로 합니다.

반도체 부품 세정 시장 규모, 추정 및 예측은 2024년을 기준 연도로 하여 2020년에서 2031년까지의 기간의 과거 데이터와 예측 데이터를 포함하는 매출액으로 제시되었습니다. 정량적 분석과 정성적 분석을 통해 독자들이 비즈니스/성장 전략을 수립하고, 시장 경쟁 구도를 평가하고, 현재 시장에서의 위치를 분석하고, 반도체 부품 세정에 관한 정보에 입각한 비즈니스 의사결정을 내릴 수 있도록 돕습니다.

시장 세분화

기업별

장비 사이즈별 부문

프로세스 노드별 구분

장비 유형별 부문

지역별

LSH
영문 목차

영문목차

The global market for Semiconductor Parts Cleaning was estimated to be worth US$ 970 million in 2024 and is forecast to a readjusted size of US$ 1495 million by 2031 with a CAGR of 6.3% during the forecast period 2025-2031.

Semiconductor chamber parts cleaning lagged behind the "Ultra-Clean Revolution" which is central in discussing all other semiconductor process inputs (i.e., gases, chemicals and silicon). Every other semiconductor process input has a Certificate of Analysis (COA)-even new parts. However, recycled chamber part cleanliness varies significantly in particle levels and atomic level contamination. This is partly because standard practice used the tools themselves to perform the final cleaning of the parts. Verifying cleanliness targets was achieved by using many test wafers, expensive wafer metrology and wasted production time. Cleaning is a process to remove contaminants such as particles and ionic impurities of equipment parts generated during customers' process.

This report studies the precision cleaning services for semiconductor chamber parts, include the used parts and new parts of ALD, CVD, PVD, Etch, diffusion, Ion Implantation, Lithography, and quartz, etc for fabs and OEMs.

The North America market for Cleaning for Semiconductor Equipment Parts is estimated to increase from $ 104.86 million in 2024 to reach $ 155.27 million by 2031, at a CAGR of 5.66% during the forecast period of 2025 through 2031.

China Mainland market for Cleaning for Semiconductor Equipment Parts is estimated to increase from $ 225.43 million in 2024 to reach $ 397.89 million by 2031, at a CAGR of 7.92% during the forecast period of 2025 through 2031.

South Korea market for Cleaning for Semiconductor Equipment Parts is estimated to increase from $ 205.39 million in 2024 to reach $ 311.37 million by 2031, at a CAGR of 6.14% during the forecast period of 2025 through 2031.

China Taiwan market for Cleaning for Semiconductor Equipment Parts is estimated to increase from $ 254.16 million in 2024 to reach $ 372.78 million by 2031, at a CAGR of 5.89% during the forecast period of 2025 through 2031.

Currently the 300mm equipment parts are the largest application, holds a share about 65.6 % in 2024. The 200mm market is driven by the demand from car chips, MEMS, sensors, power semiconductor devices. The 150mm market is mainly driven by demand from silicon carbide (SiC) devices. Last few years, the demand from semiconductor refurbished equipment also drives the growth of precision cleaning, especially in China market.

Currently Etching is the largest application, has a share about 41.7%, followed by Thin Film (CVD/PVD), and Diffusion.

The key players of cleaning service are mainly located in USA, Germany, Japan, South Korea, China Taiwan, Singapore and China Mainland. The global top 5 players hold a share about 44.4%, while top 10 players occupied nearly 72 percent.

Currently, in the United States, the key players are UCT (Ultra Clean Holdings, Inc), Pentagon Technologies, Enpro Industries, Mitsubishi Chemical (Cleanpart), Persys Group, MSR-FSR LLC and KoMiCo (USA division).

In South Korea players include KoMiCo, Cinos, Hansol IONES, WONIK QnC, and DFtech.

In China Taiwan, key players are Shih Her Technology, Frontken (Ares Green Technology Corporation), UCT (Tainan Quantum Technologies), Enpro Industries (LeanTeq), KERTZ HIGH TECH, Hung Jie Technology Corporation, Mitsubishi Chemical Taiwan, HTCSolar and KoMiCo, etc. The China Taiwan IC manufacturing is driven by demand from High Performance Computing (HPC), Smartphone, Internet of Things, Automotive, and Digital Consumer Electronics, etc. the Incremental demand is especially driven by the HPC chips for AI, data center, servers, 5G smartphones and automotive. TSMC is the largest customer of cleaning services in China Taiwan, and According to its data, In 2024, the TSMC advanced process (16nm to 3nm) revenue occupied for 80%, and is expected to reach over 84% in 2025.

In China mainland market, key players are TOCALO (China division, Kunshan), KoMiCo (China division, KoMiCo Technology (Wuxi) Limited.), Cinos (China division, Xi'an), WONIK QnC (China division, Xi'an), DFtech (China division, Wuxi), Hung Jie Technology Corporation (China division, Nanjing HungJie Semicondutor technology), Ferrotec (Anhui) Technology Development Co., Ltd, Chongqing Genori Technology Co., Ltd and Beijing GRAND HITEK, etc. In future, more Chinese new entrants will enter this market.

The cleaning service for semiconductor equipment parts has evolved into a mission-critical support sector as device geometries scale down to <5nm and front-end tools become increasingly sensitive to trace contamination. Globally, the industry is undergoing:

Outsourcing Growth: Leading IDMs and foundries increasingly outsource cleaning of CVD/ALD reactor parts, etch shields, electrostatic chucks, and gas delivery modules to certified service providers.

Localization Trend: China, and Southeast Asia are establishing localized cleaning centers to support new fab construction and reduce import dependency.

Fab Demand Diversification: Growth in advanced packaging (2.5D/3D), power semiconductors, and compound semiconductors (SiC, GaN) expands the variety and complexity of parts requiring specialized cleaning.

This report aims to provide a comprehensive presentation of the global market for Semiconductor Parts Cleaning, focusing on the total sales revenue, key companies market share and ranking, together with an analysis of Semiconductor Parts Cleaning by region & country, by Equipment Size, and by Equipment Type.

The Semiconductor Parts Cleaning market size, estimations, and forecasts are provided in terms of sales revenue ($ millions), considering 2024 as the base year, with history and forecast data for the period from 2020 to 2031. With both quantitative and qualitative analysis, to help readers develop business/growth strategies, assess the market competitive situation, analyze their position in the current marketplace, and make informed business decisions regarding Semiconductor Parts Cleaning.

Market Segmentation

By Company

Segment by Equipment Size

Segment by Process Node

Segment by Equipment Type

By Region

Chapter Outline

Chapter 1: Introduces the report scope of the report, global total market size. This chapter also provides the market dynamics, latest developments of the market, the driving factors and restrictive factors of the market, the challenges and risks faced by manufacturers in the industry, and the analysis of relevant policies in the industry.

Chapter 2: Detailed analysis of Semiconductor Parts Cleaning company competitive landscape, revenue market share, latest development plan, merger, and acquisition information, etc.

Chapter 3: Provides the analysis of various market segments by Equipment Size, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different market segments.

Chapter 4: Provides the analysis of various market segments by Equipment Type, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different downstream markets.

Chapter 5: Revenue of Semiconductor Parts Cleaning in regional level. It provides a quantitative analysis of the market size and development potential of each region and introduces the market development, future development prospects, market space, and market size of each country in the world.

Chapter 6: Revenue of Semiconductor Parts Cleaning in country level. It provides sigmate data by Equipment Size, and by Equipment Type for each country/region.

Chapter 7: Provides profiles of key players, introducing the basic situation of the main companies in the market in detail, including product revenue, gross margin, product introduction, recent development, etc.

Chapter 8: Analysis of industrial chain, including the upstream and downstream of the industry.

Chapter 9: Conclusion.

Table of Contents

1 Market Overview

2 Competitive Analysis by Company

3 Segmentation by Equipment Size

4 Segmentation by Process Node

5 Segmentation by Equipment Type

6 Segmentation by Region

7 Segmentation by Key Countries/Regions

8 Company Profiles

9 Industry Chain Analysis

10 Research Findings and Conclusion

11 Appendix

(주)글로벌인포메이션 02-2025-2992 kr-info@giikorea.co.kr
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