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세계의 반도체 정전척용 세라믹 히터 : 시장 점유율 및 순위, 전체 판매량 및 수요 예측(2025-2031년)
Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks - Global Market Share and Ranking, Overall Sales and Demand Forecast 2025-2031
상품코드 : 1857082
리서치사 : QYResearch
발행일 : 2025년 10월
페이지 정보 : 영문
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한글목차

세계의 반도체 정전척용 세라믹 히터 시장 규모는 2024년에는 5억 5,100만 달러로 추정되며, 2031년에는 8억 3,500만 달러로 재조정되어 예측 기간인 2025-2031년 CAGR은 6.0%를 보일 것으로 예측됩니다.

반도체 정전척용 세라믹 히터는 정전척 하단에 설치되거나 내부에 내장된 가열장치로, 척 위의 웨이퍼를 균일하게 가열하여 공정 중 필요한 온도조건이 유지되도록 하여 공정 품질과 생산 효율을 향상시키는데 사용됩니다. 공정의 품질과 생산 효율을 향상시킵니다.

세라믹 히터의 기본 구조는 웨이퍼를 올려놓는 세라믹 베이스, 웨이퍼를 뒤에서 지지하는 원통형 지지대, 세라믹 베이스의 내부 또는 표면에 설치된 발열 저항체와 고주파 전극 등으로 구성됩니다. 빠른 가열 및 냉각을 실현하기 위해서는 세라믹 베이스의 두께를 가능한 한 얇게 만들어야 하지만, 너무 얇으면 강성이 떨어지기 때문에 강성을 확보하면서 가능한 한 얇게 만들어야 합니다.

박막 형성 장치에서는 고온 환경을 수반하기 때문에 질화알루미늄(AlN)을 기반으로 한 세라믹 소재를 사용하는 것이 일반적입니다. 반도체 제조에서 질화알루미늄(AlN) 세라믹 히터가 선호되는 이유는 주로 고유한 물리적, 화학적 특성 때문입니다. 질화 알루미늄은 열전도율이 높고, 단시간에 빠른 가열과 냉각을 실현할 수 있을 뿐만 아니라, 전기 절연성과 기계적 강도가 우수하여 히터의 안정성과 신뢰성을 보장합니다. 또한, 질화 알루미늄의 열팽창 계수는 실리콘의 열팽창 계수에 가깝기 때문에 웨이퍼에 대한 열 응력의 영향을 줄이고 공정 속도를 향상시킬 수 있습니다.

본 보고서에서는 정전기 척과 함께 사용되는 페데스탈 세라믹 히터를 계산합니다.

이 산업은 집중도가 높고, 상위 3개 기업이 시장 점유율의 90% 이상을 차지하고 있습니다. NGK는 연간 약 70%의 점유율로 시장을 선도하고 있습니다. 주요 제조업체는 주로 일본과 한국에 있으며, 미국에도 소수의 소규모 제조업체가 있습니다. 최근에는 중국 기업들도 부상하기 시작했으며, 2025년 또는 2026년까지 소규모 생산을 시작할 것으로 예측됩니다. 전 세계적으로 정부 정책의 지원이 증가함에 따라 앞으로의 경쟁은 특히 중국 시장에서 더욱 치열해질 것으로 예측됩니다.

다운스트림 시장은 주로 OEM 솔루션을 제공하는 CVD 및 ALD 장비 제조업체와 웨이퍼 팹의 대체 재료 수요로 구성됩니다. 현재 장비 제조업체 수요가 많아 장비와 세트로 판매되고 있습니다. 장비 제조업체는 수요의 74% 이상을 차지합니다. 나머지 26%는 웨이퍼 팹에서 생산됩니다. 웨이퍼 팹에서는 세라믹 히터의 신품 교체 외에 재생품이나 수리품도 있다(본 보고서에서는 재생품 및 수리품 시장 규모는 포함하지 않음).

다운스트림 소비 지역으로 보면 미국이 가장 큰 다운스트림 시장이며, Applied Materials(AMAT), Lam Research 등의 고객사에서 수요가 큽니다. 일본과 한국이 그 뒤를 잇고 있으며, 도쿄전자, 원익IPS, 유진테크놀로지, 주성엔지니어링 등이 주요 고객입니다. 대만 시장은 주로 대만 적층세라믹커패시터제조(TSMC) 등 웨이퍼 팹을 고객으로 삼고 있습니다. 최근 중국 시장 수요가 급증하고 있으며, Piotech Inc. 및 NAURA Technology와 같은 기업의 CVD 및 ALD 장비에 대한 대규모 투자가 매출의 큰 폭의 성장으로 이어지고 있습니다.

이 보고서는 반도체 정전척용 세라믹 히터 세계 시장에 대해 지역/국가별, 유형별, 용도별 분석과 함께 총 판매량, 판매 수익, 가격, 주요 기업의 시장 점유율 및 순위를 중심으로 종합적인 시장 현황을 조사하여 소개하고자 합니다.

반도체 정전척용 세라믹 히터 시장 규모와 추정 및 예측은 2024년을 기준 연도로 하여 2020년부터 2031년까지 과거 데이터와 예측 데이터를 판매량(단위)과 매출액(백만 달러)으로 제공합니다. 정량적 분석과 정성적 분석을 통해 독자들이 비즈니스/성장 전략을 수립하고, 시장 경쟁 구도를 평가하고, 현재 시장에서의 위치를 분석하며, 반도체 정전척용 세라믹 히터에 대한 정보에 입각한 비즈니스 의사결정을 내릴 수 있도록 도와드립니다.

목차

제1장 시장 개요

제2장 기업별 경쟁 분석

제3장 유형별 세분화

제4장 용도별 세분화

제5장 지역별 세분화

제6장 주요 국가/지역별 세분화

제7장 기업 개요

제8장 산업 체인 분석

제9장 조사 결과와 결론

제10장 부록

LSH
영문 목차

영문목차

The global market for Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks was estimated to be worth US$ 551 million in 2024 and is forecast to a readjusted size of US$ 835 million by 2031 with a CAGR of 6.0% during the forecast period 2025-2031.

Ceramic heater for semiconductor electrostatic chucks refers to a heating device installed at the bottom of the electrostatic chuck or integrated inside it, which is used to uniformly heat the wafer on the chuck to ensure that the required temperature conditions are maintained during the processing, thereby improving the process quality and production efficiency.

The basic structure of the ceramic heater includes a ceramic base that carries the wafer, a cylindrical support that supports it on the back, and a heating resistor element and a radio frequency electrode set inside or on the surface of the ceramic base. In order to achieve rapid heating and cooling, the thickness of the ceramic base needs to be as thin as possible, but too thin will lead to a decrease in rigidity, so it is necessary to reduce the thickness as much as possible while ensuring rigidity.

Thin film deposition equipment usually uses ceramic materials based on aluminum nitride (AlN) because it involves high temperature environments. The reason why aluminum nitride (AlN) ceramic heaters are favored in semiconductor manufacturing is mainly due to their unique physical and chemical properties. Aluminum nitride not only has high thermal conductivity and can achieve rapid heating and cooling in a short time, but also has good electrical insulation and mechanical strength, ensuring the stability and reliability of the heater. In addition, the thermal expansion coefficient of aluminum nitride is similar to that of silicon, which helps to reduce the impact of thermal stress on the wafer and improve the process rate.

This report counts the pedestals ceramic heaters used in conjunction with electrostatic chucks.

The industry is highly concentrated, with the top three companies accounting for over 90% of the market share. NGK Insulators leads the market with an annual market share of approximately 70%. Major manufacturers are primarily located in Japan and South Korea, with a few smaller producers in the United States. Recently, some Chinese companies have begun to emerge and are expected to start small-scale production by 2025 or 2026. With increasing support from government policies worldwide, future competition is expected to intensify, particularly in the Chinese market.

The downstream market primarily consists of CVD and ALD equipment manufacturers providing OEM solutions, as well as the demand for replacement materials from wafer fabs. Currently, the demand from equipment manufacturers is significant, with sales bundled with their equipment. Equipment manufacturers account for over 74% of the demand. The remaining 26% comes from wafer fabs. In addition to replacing new ceramic heaters, wafer fabs also have some refurbished and repaired products (this report does not include the market size for refurbished and repaired products).

From the perspective of downstream consumption regions, the United States is the largest downstream market, with major demand coming from customers such as Applied Materials (AMAT) and Lam Research. Japan and South Korea follow closely behind, with key customers including Tokyo Electron, Wonik IPS, Eugene Technology, and Jusung Engineering. The Taiwan market primarily serves wafer fabs, such as Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC). In recent years, demand in the Chinese market has been growing rapidly, driven by significant investments in CVD and ALD equipment by companies like Piotech Inc. and NAURA Technology, leading to substantial sales growth.

This report aims to provide a comprehensive presentation of the global market for Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks, focusing on the total sales volume, sales revenue, price, key companies market share and ranking, together with an analysis of Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks by region & country, by Type, and by Application.

The Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks market size, estimations, and forecasts are provided in terms of sales volume (Units) and sales revenue ($ millions), considering 2024 as the base year, with history and forecast data for the period from 2020 to 2031. With both quantitative and qualitative analysis, to help readers develop business/growth strategies, assess the market competitive situation, analyze their position in the current marketplace, and make informed business decisions regarding Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks.

Market Segmentation

By Company

Segment by Type

Segment by Application

By Region

Chapter Outline

Chapter 1: Introduces the report scope of the report, global total market size (value, volume and price). This chapter also provides the market dynamics, latest developments of the market, the driving factors and restrictive factors of the market, the challenges and risks faced by manufacturers in the industry, and the analysis of relevant policies in the industry.

Chapter 2: Detailed analysis of Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks manufacturers competitive landscape, price, sales and revenue market share, latest development plan, merger, and acquisition information, etc.

Chapter 3: Provides the analysis of various market segments by Type, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different market segments.

Chapter 4: Provides the analysis of various market segments by Application, covering the market size and development potential of each market segment, to help readers find the blue ocean market in different downstream markets.

Chapter 5: Sales, revenue of Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks in regional level. It provides a quantitative analysis of the market size and development potential of each region and introduces the market development, future development prospects, market space, and market size of each country in the world.

Chapter 6: Sales, revenue of Ceramic Heater for Semiconductor Electrostatic Chucks in country level. It provides sigmate data by Type, and by Application for each country/region.

Chapter 7: Provides profiles of key players, introducing the basic situation of the main companies in the market in detail, including product sales, revenue, price, gross margin, product introduction, recent development, etc.

Chapter 8: Analysis of industrial chain, including the upstream and downstream of the industry.

Chapter 9: Conclusion.

Table of Contents

1 Market Overview

2 Competitive Analysis by Company

3 Segmentation by Type

4 Segmentation by Application

5 Segmentation by Region

6 Segmentation by Key Countries/Regions

7 Company Profiles

8 Industry Chain Analysis

9 Research Findings and Conclusion

10 Appendix

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