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반도체 습식 식각 시스템 시장
Semiconductor Wet Etch Systems
상품코드 : 1747742
리서치사 : Market Glass, Inc. (Formerly Global Industry Analysts, Inc.)
발행일 : 2025년 06월
페이지 정보 : 영문 134 Pages
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한글목차

반도체 습식 식각 시스템 세계 시장은 2030년까지 138억 달러에 이를 전망

2024년에 110억 달러로 추정되는 반도체 습식 식각 시스템 세계 시장은 2024-2030년간 CAGR 3.9%로 성장하여 2030년에는 138억 달러에 이를 것으로 예측됩니다. 본 보고서에서 분석한 부문 중 하나인 케미컬 딜리버리 시스템 용도는 CAGR 3.0%를 나타내고, 분석 기간 종료까지 51억 달러에 이를 것으로 예측됩니다. O링＆씰 용도 부문의 성장률은 분석 기간중 CAGR 3.2%로 추정됩니다.

미국 시장은 추정 29억 달러, 중국은 CAGR 3.9%로 성장 예측

미국의 반도체 습식 식각 시스템 시장은 2024년에 29억 달러로 추정됩니다. 세계 2위 경제대국인 중국은 2030년까지 22억 달러 규모에 이를 것으로 예측되며, 분석 기간인 2024-2030년 CAGR은 3.9%로 추정됩니다. 기타 주목해야 할 지역별 시장으로서는 일본과 캐나다가 있으며, 분석 기간중 CAGR은 각각 3.5%와 3.5%를 보일 것으로 예측됩니다. 유럽에서는 독일이 CAGR 3.3%를 보일 전망입니다.

세계 '반도체 습식 식각 시스템' 시장 - 주요 동향 및 촉진요인 정리

건식 식각의 우위에도 불구하고 습식 식각이 여전히 필수적인 이유는 무엇인가?

습식 식각 시스템은 특히 등방성 식각, 높은 처리량, 부드러운 재료 제거가 필요한 반도체 제조에서 중요한 역할을 하고 있습니다. 중요한 치수 형상에서는 건식 식각이 주류를 이루고 있지만, 웨이퍼 세정, 후면 박막화, 언더컷 제거, MEMS 제조에서는 습식 식각이 필수적입니다. 이러한 시스템에서는 HF, H2SO4, H3PO4 등의 액체 약품을 침지법, 스프레이법, 스핀법 등으로 사용하여 플라즈마에 의한 손상 없이 특정 층을 식각합니다. 습식 식각은 비용 효율적이고, 확장 가능하며, 중요하지 않은 패턴 전사 및 블랭킷 재료 제거에 가장 적합합니다. 화합물 반도체, 포토닉스 및 전력 소자에서 습식 식각은 우수한 선택성과 균일성을 제공합니다. 언더범프 메탈라이제이션(UBM) 및 TSV(Through Silicon Via)와 같은 공정에서 습식 식각은 건식 공정을 보완하여 기판에 미치는 영향을 최소화하면서 완벽한 제거를 제공합니다. 업계가 원자 수준의 정밀도로 이동하고 있음에도 불구하고, 습식 식각 툴은 첨단 공정 노드에서든 레거시 공정 노드에서든 여전히 기초적인 역할을 하고 있습니다.

첨단 노드의 요구를 충족시키기 위해 배치 장비와 웨이퍼 장비는 진화하고 있는가?

최신 습식 식각 장비는 단순한 배치 침지 탱크에서 하이엔드 단일 웨이퍼 및 클러스터 통합 시스템으로 크게 발전하고 있습니다. 현재 첨단 로직 및 메모리 공장에서는 정밀한 흐름 제어, 개선된 약품 공급, 교차 오염 감소를 위해 단일 웨이퍼 습식 식각 시스템이 표준으로 사용되고 있습니다. 이러한 시스템은 종종 전용 헹굼 및 건조 단계가 있는 여러 개의 챔버를 갖추고 있어 웨이퍼의 무결성을 손상시키지 않으면서 처리량을 최적화합니다. 이와는 대조적으로, 배치형 장비는 200mm 또는 화합물 기판을 다루는 대량 생산 공장에서 계속 사용되고 있습니다. 온도, 유량, 종점 감지를 위한 센서를 포함하여 새로운 자동화 및 실시간 공정 제어 메커니즘이 두 가지 형태 모두에 통합되어 있습니다. 제어된 등방성 식각과 최소한의 언더컷에 대한 수요가 증가함에 따라 장비 제조업체들은 노즐 모양, 재료 적합성, 약품 재순환 방법을 최적화하고 있습니다. 공정 충실도와 처리량의 균형이 모든 웨이퍼 크기에 적합한 차세대 습식 식각 시스템을 형성하고 있습니다.

화학물질 관리와 환경보호는 공구 설계에 어떤 영향을 미치고 있는가?

안전, 지속가능성, 규제 준수에 대한 관심이 높아지면서 습식 식각 시스템 설계에 큰 영향을 미치고 있습니다. 첨단 장비는 현재 폐쇄 루프 약품 처리, 온보드 여과, 통합 배기 가스 관리 기능을 갖추고 있어 작업자의 노출과 환경 배출을 줄입니다. 자동화된 약품 주입, 중화 및 폐기물 분리 시스템은 ESG 목표를 지원하고 폐기 비용을 최소화하기 위해 최신 공장의 표준이 되고 있습니다. 공구 제조업체들은 또한 부식성 산에 의한 부식을 방지하고 장비의 수명을 연장할 수 있는 재료를 선호하고 있습니다. 팹은 화학물질 소비를 최소화하고 반복성을 보장하기 위해 소프트웨어 기반 공정 제어와 예측적 유지보수를 결합하고 있습니다. 또한, 스마트 분석을 통해 작업자는 식각 속도 드리프트, 화학물질 농도, 챔버 마모 등을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 환경 및 운영 강화는 습식 식각 시스템을 보다 효율적이고, 규정 준수에 적합하며, 새로운 공장 요구 사항에 적응할 수 있도록 합니다.

세계 반도체 공장의 습식 식각 시스템 성장 원동력은?

세계의반도체 습식 식각 시스템시장 성장은 웨이퍼 생산량 증가, 화합물 반도체 수요, 백엔드 공정의 복잡성 증가 등 여러 가지 요인에 의해 이루어지고 있습니다. 팹들이 3D NAND, SiC, GaN, 첨단 패키징 라인을 가동함에 따라 웨이퍼 박막화, TSV 형성, 레이어 클린업 등의 지원 공정에 습식 식각 툴이 도입되고 있으며, 300mm 및 하이브리드 기판으로의 전환은 정밀하고 맞춤형 습식 식각 모듈 수요에 박차를 가하고 있습니다. 중국, 인도, 동남아시아의 신흥 팹들은 중간 노드 및 특수 칩에 대응하기 위해 비용 효율적인 습식 식각 솔루션을 채택하고 있으며, OSAT 및 MEMS 파운드리 수요는 습식 식각이 구조적 이형 및 포스트 포지셔닝 처리를 위해 선호되고, 백엔드 부문에서는 습식 식각이 선호되고 있습니다. 백엔드 부문에서의 툴 채택이 확대되고 있습니다. 그린 팹 운영에 대한 관심이 높아지면서 화학물질 재활용, 저에너지 사용, AI 기반 진단을 제공하는 습식 식각 시스템은 전 세계 반도체 생산 기지에서 수요가 증가하고 있습니다.

부문

용도(약액 공급 시스템, O링＆씰, UPW 배관 시스템, 웨이퍼 용기, 구조 부품)

조사 대상 기업 예(총 41개사)

관세 영향 계수

Global Industry Analysts는 본사의 국가, 제조거점, 수출입(완제품 및 OEM)을 기반으로 기업의 경쟁력 변화를 예측했습니다. 이러한 복잡하고 다면적인 시장 역학은 인위적인 수익원가 증가, 수익성 감소, 공급망 재편 등 미시적 및 거시적 시장 역학 중에서도 특히 경쟁사들에게 영향을 미칠 것으로 예측됩니다.

Global Industry Analysts는 세계 주요 수석 이코노미스트(1,4,949명), 싱크탱크(62개 기관), 무역 및 산업 단체(171개 기관)의 전문가들의 의견을 면밀히 검토하여 생태계에 미치는 영향을 평가하고 새로운 시장 현실에 대응하고 있습니다. 모든 주요 국가의 전문가와 경제학자들이 관세와 그것이 자국에 미치는 영향에 대한 의견을 추적 조사했습니다.

Global Industry Analysts는 이러한 혼란이 향후 2-3개월 내에 마무리되고 새로운 세계 질서가 보다 명확하게 확립될 것으로 예상하고 있으며, Global Industry Analysts는 이러한 상황을 실시간으로 추적하고 있습니다.

2025년 4월: 협상 단계

이번 4월 보고서에서는 관세가 세계 시장 전체에 미치는 영향과 지역별 시장 조정에 대해 소개합니다. 당사의 예측은 과거 데이터와 진화하는 시장 영향요인을 기반으로 합니다.

2025년 7월: 최종 관세 재설정

고객님들께는 각 국가별 최종 리셋이 발표된 후 7월에 무료 업데이트 버전을 제공해 드립니다. 최종 업데이트 버전에는 명확하게 정의된 관세 영향 분석이 포함되어 있습니다.

상호 및 양자 간 무역과 관세의 영향 분석 :

미국 <>& 중국 <>& 멕시코 <>& 캐나다 <>&EU <>& 일본 <>& 인도 <>& 기타 176개국

업계 최고의 이코노미스트: Global Industry Analysts의 지식 기반은 국가, 싱크탱크, 무역 및 산업 단체, 대기업, 그리고 세계 계량 경제 상황의 전례 없는 패러다임 전환의 영향을 공유하는 분야별 전문가 등 가장 영향력 있는 수석 이코노미스트 그룹을 포함한 14,949명의 이코노미스트를 추적하고 있습니다. 16,491개 이상의 보고서 대부분에 마일스톤에 기반한 2단계 출시 일정이 적용되어 있습니다.

목차

제1장 조사 방법

제2장 주요 요약

제3장 시장 분석

제4장 경쟁

LSH
영문 목차

영문목차

Global Semiconductor Wet Etch Systems Market to Reach US$13.8 Billion by 2030

The global market for Semiconductor Wet Etch Systems estimated at US$11.0 Billion in the year 2024, is expected to reach US$13.8 Billion by 2030, growing at a CAGR of 3.9% over the analysis period 2024-2030. Chemical Delivery System Application, one of the segments analyzed in the report, is expected to record a 3.0% CAGR and reach US$5.1 Billion by the end of the analysis period. Growth in the O-Rings & Seals Application segment is estimated at 3.2% CAGR over the analysis period.

The U.S. Market is Estimated at US$2.9 Billion While China is Forecast to Grow at 3.9% CAGR

The Semiconductor Wet Etch Systems market in the U.S. is estimated at US$2.9 Billion in the year 2024. China, the world's second largest economy, is forecast to reach a projected market size of US$2.2 Billion by the year 2030 trailing a CAGR of 3.9% over the analysis period 2024-2030. Among the other noteworthy geographic markets are Japan and Canada, each forecast to grow at a CAGR of 3.5% and 3.5% respectively over the analysis period. Within Europe, Germany is forecast to grow at approximately 3.3% CAGR.

Global "Semiconductor Wet Etch Systems" Market - Key Trends & Drivers Summarized

Why Is Wet Etching Still Essential Despite Dry Etch Dominance?

Wet etch systems continue to play a vital role in semiconductor fabrication, particularly where isotropic etching, high throughput, and gentle material removal are needed. While dry etch has become dominant for critical dimension features, wet etch remains indispensable in wafer cleaning, backside thinning, undercut removal, and MEMS fabrication. These systems use liquid chemicals-such as HF, H2SO4, or H3PO4-applied through immersion, spray, or spin methods to etch specific layers without inducing plasma-related damage. Wet etching is cost-effective, scalable, and ideal for non-critical pattern transfers or blanket material removal. In compound semiconductors, photonics, and power devices, wet etch delivers excellent selectivity and uniformity. For processes like under-bump metallization (UBM) or TSV (through-silicon via) reveal, wet etching complements dry methods, ensuring complete removal with minimal substrate impact. Despite industry migration to atomic-level precision, wet etch tools remain foundational in both advanced and legacy process nodes.

Are Batch and Single-Wafer Tools Evolving to Meet Advanced Node Needs?

Modern wet etch equipment has advanced significantly, evolving from simple batch immersion tanks to high-end, single-wafer and cluster-integrated systems. Single-wafer wet etch systems are now standard in advanced logic and memory fabs, offering precise flow control, improved chemical delivery, and reduced cross-contamination. These systems often feature multiple chambers with dedicated rinse and dry stages, optimizing throughput without compromising wafer integrity. In contrast, batch tools continue to serve high-volume fabs working with 200mm or compound substrates. New automation and real-time process control mechanisms are being integrated into both formats, including sensors for temperature, flow rate, and endpoint detection. With demand rising for controlled isotropic etch and minimal undercutting, tool manufacturers are optimizing nozzle geometries, material compatibility, and chemical recirculation methods. The balance between process fidelity and throughput is shaping the next generation of wet etch systems across all wafer sizes.

How Are Chemical Management and Environmental Concerns Influencing Tool Design?

The increasing focus on safety, sustainability, and regulatory compliance is significantly influencing wet etch system design. Advanced tools now feature closed-loop chemical handling, on-board filtration, and integrated exhaust management to reduce operator exposure and environmental release. Automated chemical dosing, neutralization, and waste segregation systems are standard in newer fabs, supporting ESG objectives and minimizing disposal costs. Tool manufacturers are also prioritizing materials that resist corrosion from aggressive acids and provide longer equipment lifespans. As fabs seek to minimize chemical consumption and ensure repeatability, software-driven process control is being coupled with predictive maintenance. Additionally, smart analytics are helping operators monitor etch rate drift, chemical concentration, and chamber wear in real time. These environmental and operational enhancements are making wet etch systems more efficient, compliant, and adaptable to emerging fab requirements.

What’s Powering the Growth of Wet Etch Systems in Global Semiconductor Fabs?

The growth in the global semiconductor wet etch systems market is driven by several factors including increasing wafer production, compound semiconductor demand, and backend processing complexity. As fabs ramp up 3D NAND, SiC, GaN, and advanced packaging lines, wet etch tools are being deployed for support steps like wafer thinning, TSV formation, and layer cleanup. The transition to 300mm and hybrid substrates is also spurring demand for precise, customizable wet etch modules. Emerging fab builds in China, India, and Southeast Asia are adopting cost-efficient wet etch solutions to serve mid-tier nodes and specialty chips. Demand from OSATs and MEMS foundries-where wet etch is preferred for structural release and post-deposition treatment-is expanding tool adoption in the backend segment. With increasing focus on green fab operations, wet etch systems offering chemical recycling, low energy use, and AI-driven diagnostics are seeing growing demand across global semiconductor manufacturing hubs.

SCOPE OF STUDY:

The report analyzes the Semiconductor Wet Etch Systems market in terms of units by the following Segments, and Geographic Regions/Countries:

Segments:

Application (Chemical Delivery System, O-Rings & Seals, UPW Piping System, Wafer Containers, Structural Parts)

Geographic Regions/Countries:

World; United States; Canada; Japan; China; Europe (France; Germany; Italy; United Kingdom; and Rest of Europe); Asia-Pacific; Rest of World.

Select Competitors (Total 41 Featured) -

TARIFF IMPACT FACTOR

Our new release incorporates impact of tariffs on geographical markets as we predict a shift in competitiveness of companies based on HQ country, manufacturing base, exports and imports (finished goods and OEM). This intricate and multifaceted market reality will impact competitors by artificially increasing the COGS, reducing profitability, reconfiguring supply chains, amongst other micro and macro market dynamics.

We are diligently following expert opinions of leading Chief Economists (14,949), Think Tanks (62), Trade & Industry bodies (171) worldwide, as they assess impact and address new market realities for their ecosystems. Experts and economists from every major country are tracked for their opinions on tariffs and how they will impact their countries.

We expect this chaos to play out over the next 2-3 months and a new world order is established with more clarity. We are tracking these developments on a real time basis.

As we release this report, U.S. Trade Representatives are pushing their counterparts in 183 countries for an early closure to bilateral tariff negotiations. Most of the major trading partners also have initiated trade agreements with other key trading nations, outside of those in the works with the United States. We are tracking such secondary fallouts as supply chains shift.

To our valued clients, we say, we have your back. We will present a simplified market reassessment by incorporating these changes!

APRIL 2025: NEGOTIATION PHASE

Our April release addresses the impact of tariffs on the overall global market and presents market adjustments by geography. Our trajectories are based on historic data and evolving market impacting factors.

JULY 2025 FINAL TARIFF RESET

Complimentary Update: Our clients will also receive a complimentary update in July after a final reset is announced between nations. The final updated version incorporates clearly defined Tariff Impact Analyses.

Reciprocal and Bilateral Trade & Tariff Impact Analyses:

USA <> CHINA <> MEXICO <> CANADA <> EU <> JAPAN <> INDIA <> 176 OTHER COUNTRIES.

Leading Economists - Our knowledge base tracks 14,949 economists including a select group of most influential Chief Economists of nations, think tanks, trade and industry bodies, big enterprises, and domain experts who are sharing views on the fallout of this unprecedented paradigm shift in the global econometric landscape. Most of our 16,491+ reports have incorporated this two-stage release schedule based on milestones.

COMPLIMENTARY PREVIEW

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TABLE OF CONTENTS

I. METHODOLOGY

II. EXECUTIVE SUMMARY

III. MARKET ANALYSIS

IV. COMPETITION

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